2027 年度广东省重点领域研发计划
“重点新材料”专项申报指南
(征求意见稿)
本专项布局电子材料、化工材料、金属材料、前沿技术等4个重点专题、11个研究方向。
专题一 电子材料
方向 1.1 先进制程半导体装备涂层用高纯Y2O3粉体关键技术研究及应用
1.研究内容
面向先进制程半导体刻蚀装备关键部件耐刻蚀涂层需求，重点突破Y2O3粉体的高纯度控制、纳米级粒径调控、球形化与高分散性形貌等关键技术，探索“AI+”Y2O3研发范式，开发出高性能Y2O3粉体原料，并实现批次间高质量稳定生产。研究粉体特性与涂层性能的构效关系，实现涂层力学性能、耐蚀性及服役寿命的协同优化。开发高稳定性的涂层制备工艺，并实现Y2O3涂层在先进制程半导体刻蚀装备腔体、陶瓷窗、聚焦环等核心部件上的工艺验证与长效稳定运行。
2.考核指标
(1)技术指标
Y2O3粉体：研发不少于5种不同粒径Y2O3粉体，平均粒径≤1 μm，绝对纯度≥99.99%，金属及非金属杂质<10 ppm，单分散聚集度指数 PDI=(标准偏差/平均粒径)2 ≤ 0.1，窄粒度分布粒径分布宽度 SPAN=(D90-D10)/D50 ≤ 1.3，高流动性实现休止角<40 °，粉体形貌球形度>0.95;构建氧化钇粉体高质量数据集，运用人工智能技术赋能氧化钇粉体关键参数智能调优。Y2O3 耐刻蚀涂层：以上述自制粉体为原料，制备 Y2O3 耐刻蚀涂层，涂层孔隙率<0.1%，硬度>10 GPa，结合力>10 N。完成Y2O3 涂层在腔体、陶瓷窗、聚焦环等核心部件上的工艺验证，确保其在≤5 nm 先进制程的氟等离子体环境中能长效稳定运行，刻蚀速率<30 nm/min，涂层寿命>2000小时。
(2)产业化指标
在广东省内建立高纯Y2O3粉体吨级量产的生产线。规模化生产时，实现5种不同规格且符合质量要求Y2O3粉体批次间关键性能指标(粒径及粒度分布、流动性等)波动在±10%以内。项目执行期内，Y2O3粉体及涂层新增销售收入不少于4000万元。
(3)其它指标
申请发明专利不少于15件。
方向1.2AI数据中心用高速高层高阶印制电路板关键技术研究及应用
1.研究内容
围绕AI数据中心对高速高层高阶印制电路板的需求，研究碳氢树脂/PPO等与石英纤维的复合技术及规模化制备工艺，开发适配AI算力需求的低介电常数、低介电损耗角、低膨胀系数复合基材;开展12+N+12阶层以上 HDI 和56层以上HLC高速高层PCB制造技术研究，攻关层间对准精度控制、12阶HDI盲埋孔加工等关键技术;开展高速信号完整性优化、超高层PCB智能化检测体系研究，研究在AI算力高强度场景下材料的失效模式、机理，构建可靠性评估方法;实现HDI高速高阶和HLC高速高层PCB在AI数据中心的应用。
2.考核指标
HDI 高速高阶加速卡 PCB：层数满足 12+N+12 阶及以上，成品尺寸≥100mm×150mm;芯板图形对准误差≤±8μm，整体层间对准度≤50μm;最小线宽线距≤40μm/40μm;最小导通孔≤50μm，电镀填孔纵横比≥1.5:1;整板翘曲率≤0.5%，80mm×80mm 尺寸BGA 区域平整度极差值≤75μm;PCB 可靠性通过在-55°C~Tg-10°C温度 500 次循环后，电阻变化率≤5%。
HLC高速高层主板、交换机板PCB：层数满足56层及以上，成品尺寸≥280mm×400mm;整体层间对准度≤100μm;整板翘曲率≤0.5%，BGA 区域平整度极差值≤100μm;阻抗公差±5%;电镀铜高板厚孔径比≥40:1;高多层板背钻残桩长度≤100μm，cpk大于1.33 ; 支 持 448Gbps高速信号传输，信号衰减≤1.7dB/inch@74GHz;PCB 可靠性通过在-55°C~Tg-10°C温度500次循环后，电阻变化率≤5%。
(2)产业化指标
项目执行期内，在广东省内建成高速高阶高层印制电路板生产线≥1条，新增销售收入≥5000万元。
(3)其它指标
申请发明专利不少于10件。
方向 1.3 高性能印刷 OLED 用蓝色磷光材料关键技术研究及应用
1.研究内容
围绕高性能印刷OLED对磷光体系材料的需求，开展激基复合物与磷光、荧光掺杂剂的能量传输效率机理和寿命提升机理研究，实现印刷磷光OLED效率与寿命的同步提升;研究磷光敏化材料构效关系，实现光谱窄化和色纯度提升;研究磷光体系材料放大合成过程的传质传热与反应动力学规律，建立工艺-性能调控模型，实现高性能印刷OLED磷光材料的公斤级批量生产;研究OLED磷光材料墨水混配工艺，实现高性能OLED墨水的百升级批量生产;开发基于磷光墨水的 OLED 发光器件，并实现在高世代线上批量应用。
2.考核指标
印刷OLED磷光体系材料：主体材料纯度≥99.9%，掺杂剂材料纯度≥99.5%，Tg≥100°C, Td≥300°C;蓝色主体材料T1≥2.7eV，绿色主体材料T1≥2.5eV，红色主体材料T1≥2.3eV。
磷光材料墨水：在量产使用浓度下，水分含量≤0.02%，总卤素含量≤5ppm，0.2~0.5um 颗粒物含量≤1000 个，粘度3-15cp，表面张力28-45mN/m，沸点≥200℃，PH 值6-8;
电致发光OLED旋涂器件：蓝光器件，在CIEy≤0.06条件下，电流效率≥19cd/A;在1000尼特初始亮度下，器件寿命LT95≥750小时。红光器件，在CIEx≥0.68条件下，电流效率≥85cd/A;在1000尼特初始亮度下，器件寿命LT95≥15000小时。绿光器件，在CIEy≥0.70条件下，电流效率≥250cd/A;在1000尼特初始亮度下，器件寿命 LT95≥18000小时。
(2)产业化指标
项目执行期内，在广东省内建成红绿蓝磷光体系材料生产线，实现印刷OLED磷光体系材料的公斤级批量制备,实现高性能OLED红绿蓝墨水年产量各不低于150升、总量不低于500升，材料和墨水新增销售收入不少于3000万元。相关红绿蓝磷光材料实现在省内高世代线上规模化应用。
(3)其它指标
申请发明专利不少于 10 件。
方向 1.4 电磁功能纸基复合材料关键技术研究及应用
1.研究内容
围绕国防军工、电子通信、航空航天等领域对轻质高强电磁功能材料的需求，开展面向多种电磁功能需求的纸基结构-配方协同设计研究，揭示纸基复合材料的宽频谱电磁波响应与介电性能调控原理;研究纸基纤维湿法制备技术，实现复合纤维在水基介质中的均匀分散与稳定成形;开展纤维复配体系及纸张结构优化研究，实现材料介电常数、损耗特性等关键电磁功能的可控调节;开展电磁功能纸基复合材料的工程化制备技术研究，实现批次间稳定性制备;实现纸基材料在高频透波、宽频吸波等典型场景下批量应用。
2.考核指标
(1)技术指标
透波用电磁功能纸基复合材料：定量≤50g/m2，幅宽≥460mm;纵向抗张强度≥4.0kN/m，批次间 CV 值≤10%;纵向弹性模量≥4000MPa;介电常数实部(10±2GHz)≤2.5、介质电损耗角正切值(10±2GHz)≤2×10-2;电磁屏蔽效能≥60dB。
吸波用电磁功能纸基复合材料：定量≤50g/m2，幅宽≥460mm;纵向抗张强度≥2.50kN/m，批次间 CV 值≤10%;纵向弹性模量≥2000MPa;介电常数实部(10GHz)≥8.5，介电常数损耗角正切(10GHz)≥1.0;电磁屏蔽效能≥90dB。
(2)产业化指标
项目执行期内，在广东省内电磁功能纸基材料新增销售收入≥3000万元，实现国防军工、通信网络、航空航天等领域批量应用。
(3)其它指标
申请发明专利不少于10件。
专题二 化工材料
方向2.1间规聚苯乙烯(sPS)制备关键技术研究及应用
1.研究内容
围绕高速连接器、汽车零部件、工业包装等产品对间规聚苯乙烯纯树脂的需求，开发与优化高性能sPS专用茂金属催化剂体系，提升催化剂的活性、间规选择性及单体转化率，实现sPS的高效聚合;开展晶型定向调控技术研究，实现sPS产物β晶型的精准调控;开展反应器选型、结构优化及配套工艺研究，突破高效混合、快速撤热、物料输送等工程放大难题;建成具有自主知识产权的sPS千吨级生产线，并开发sPS万吨级产业化完整工艺包。
2.考核指标
(1)技术指标
催化剂体系：主催化剂催化活性≥ 4×10⁴ g sPS/g，单体转化率≥60%;间规度(高温核磁13C NMR法)≥ 99%。
树脂：重均分子量(高温GPC法，流动相1，2，4-三氯苯)19~21×10⁴ g/mol;分子量分布宽度(高温GPC法，流动相1，2，4-三氯苯)1.8~2.2;玻璃化转变温度(DSC 法)≥100℃;熔点(DSC法)≥270℃;挥发分含量≤700ppm。晶型(XRD 法)：β型;结晶度(DSC 法)≥ 40%。电性能：Dk≤2.6@2.5GHz，Df≤6×10-⁴@2.5GHz。
(2)产业化指标
项目实施期内，在广东省内建成千吨级sPS聚合产业化生产线，销售收入≥4000万元;开发万吨级sPS产业化工艺包1套。
(3)其它指标
申请发明专利不少于10件。
方向2.2混合废塑料定向裂解及高值转化关键技术研究及应用
1.研究内容
围绕混合废塑料化学裂解对专用催化剂、配套工艺的需求，开发多级孔结构新型催化剂，实现废塑料有效裂解及裂解过程中氯、硅、氧等杂质的转化和初脱，提升熔融塑料裂解速率和抗中毒能力、减少焦炭沉积;开发脱氯、脱硅、脱氧的工艺技术和配套专用催化剂，实现有害杂质的去除;开发碳四烯烃定向转化技术和催化剂，提高乙烯、丙烯和芳烃收率;建成60万吨级以上废塑料化学裂解连续化生产线。
2.考核指标
(1)技术指标
混合废塑料定向催化裂解体系：开发适配定向催化裂解废塑料的具有介孔-微孔分级结构的催化剂≥1种，新鲜催化剂单耗≤15kg/t 废塑料;混合废塑料转化率≥85%，裂解反应时间≤30s、焦炭产率≤13%。除杂体系：塑料裂解轻油中氯含量≤30mg/kg，硅含量≤3mg/kg，氧含量≤100mg/kg;液化塑料裂解气中氯含量≤500mg/kg，氧含量≤300mg/kg。碳四烯烃定向转化：采用上述废塑料定向裂解催化剂，乙烯、丙烯和芳烃总收率≥80%。
(2)产业化指标
项目实施期内，在广东省内建成60万吨级以上废塑料化学裂解连续化生产线，废塑料转化乙烯、丙烯和芳烃新增销售收入≥1亿元。
(3)其它指标
申请发明专利不少于10件。
方向2.3低顺式聚丁二烯橡胶(LCBR)规模化生产关键技术研究及应用
1.研究内容
围绕本体法生产ABS和HIP树脂对高端LCBR的需求，研究烷基锂引发丁二烯的“活性”阴离子聚合体系，实现LCBR制备的高活性聚合反应控制及分子结构的精细调控;研究LCBR的可控制备过程反应器的放大规律，优化LCBR的可控制备工艺，形成万吨级规模LCBR聚合工艺成套技术工艺包;建成万吨级LCBR工业示范装置，并实现稳定运行;实现LCBR在本体法ABS及HIPS树脂制备中的规模化应用。
2.考核指标
(1)技术指标
原料预处理指标：1,3-丁二烯≥99.5wt%，丁二烯二聚体≤0.1wt%，其他氧、氮、硫极性化合物≤10wtppm。丁二烯聚合体系指标：丁二烯转化率≥99.9%，乙烯基1,2-结构含量10-18mol%;顺式 1,4-结构含量30-40 mol%，溶液粘度50-75cP(5wt% LCBR-St，25℃)。LCBR产品性能指标：胶粒直径在Φ5-20mm，胶粒呈乳白色，不泛红，凝胶含量≤0.04wt%;挥发物(残余单体+溶剂)≤0.75wt%;灰分含量≤0.10wt%。
(2)产业化指标
项目执行期内，在广东省内建成3万吨级LCBR生产线，新增销售收入≥5000万元。
(3)其它指标
申请发明专利不少于10件。
专题三 金属材料
方向3.1真空腔均热板用超薄铜/不锈钢复合带材关键技术研究及应用
1.研究内容
针对智能终端和新能源汽车领域对超薄铜/不锈钢复合带材的迫切需求，开展超薄铜/不锈钢复合带材高效复合轧制成形制备技术研究，探明复合轧制过程中组元变形协调机制，揭示界面高强度复合机理;开展超薄铜/不锈钢复合带材界面组织及性能调控研究，实现界面组织优化和性能调控;开展超薄铜/不锈钢复合带材矫直控形技术研究，实现复合带材残余应力调控和控形控性;开展超薄铜/不锈钢复合带材的服役性能评价，并实现在智能终端和新能源汽车领域产业化应用。
2.考核指标
(1)技术指标
复合带材尺寸、板形和表面质量：厚度≤0.05mm，宽度≥180mm，平面度≤0.5mm，厚度偏差±0.002mm，表面粗糙度≤0.6μm，铜面达因值≥44dyn/cm;复合带材物理性能和力学性能：密度≤8.2 g/cm3，相对磁导率≤1.01，抗拉强度≥650MPa，断后延伸率≥15%，界面结合率100%，反复弯折至断裂，界面不分层;真空腔均热板：等效导热系数≥6000W/(m·K)
(2)产业化指标
项目实施期内，在广东省内建成年产能不低于2000吨超薄铜/不锈钢复合带材生产线，新增销售不低于1亿元，实现超薄铜/不锈钢复合带材在智能终端和新能源汽车领域规模化应用。
(3)其它指标
申请发明专利不少于10件。
方向3.2 1-2微米激光器用稀土晶体关键技术研究及应用
1.研究内容
研究 Nd3+掺杂 LaBSiO5 在高温熔盐体系中的结晶动力学与单晶生长习性，开发对应助熔剂体系，探索大尺寸 LaBSiO5晶体相变抑制策略，实现英寸级单晶生长工艺，并开发工作波段1.0~1.1μm 多波长激光器样机，实现三波长激光同时输出。
研究Tm3+/Ho3+掺杂 CALGO、YAP钙钛矿铝酸盐超快激光晶体生长习性，揭示“生长界面稳定性—晶体缺陷形成—宏观光学性能”之间的定量构效关系，实现生长工艺的精准调控，开发出大尺寸、高光学质量的2μm 波长激光器用Tm3+/Ho3+掺杂CALGO、YAP 钙钛矿铝酸盐超快激光晶体，并开发高稳定性、高性能2μm超快激光器样机，实现高能量/大功率超快激光输出。
2.考核指标
(1)技术指标
1μm多波长激光器：开发出1套用于生长 Nd3+掺杂LaBSiO5激光晶体的助熔剂体系，晶体尺寸≥Ø40 mm×30 mm，Nd3+离子摩尔掺杂浓度3%-20%;Nd3+离子4F3/2能级的荧光衰减寿命≥90μs;Nd3+离子1μm波段发射截面≥1.0×10-20cm2;开发1.0~1.1μm多波长激光器样机，三波长相邻激光之间的波长差10-30 nm;激光阈值≤500mW，平均输出功率≥1W;激光器件的光-光转换效率≥6%。
2μm 波段超快激光器：研制2μm 波长激光器用Tm3+/Ho3+掺杂 CALGO、YAP 钙钛矿铝酸盐超快激光晶体，晶胚尺寸≥Ø50mm×100mm，散射损耗≤5×10-6/cm;开发工作波长1.9~2.1μm超快激光器样机，平均功率≥10W，脉冲能量≥10mJ，脉冲宽度≤200fs，光束质量因子≤1.5。
(2)产业化指标
在广东省内建立1μm多波长激光器用Nd3+掺杂LaBSiO5多波长激光晶体生长中试产线和2μm波长激光器用大尺寸Tm3+/Ho3+掺杂CALGO、YAP钙钛矿铝酸盐超快激光晶体生产线。项目实施期内，1μm、2μm两类波长激光晶体及激光器新增销售收入≥2000万元。
(3)其它指标
申请发明专利不少于10件。
方向3.3高性能超细晶硬质合金压砧关键技术研发及应用
1.研究内容
围绕超硬材料制备、深地钻探、精密加工、高压物理等对硬质合金压砧在45GPa以上超高压、高温条件下长期稳定服役的需求，开展超细晶硬质合金成分设计与微结构调控机理研究，建立元素-组织-性能之间的微结构调控模型;研发碳化钨粉末高效分散与均匀混合技术，形成稳定可控的粉末制备与成形工艺;开展压砧在极端工况下的力学性能、损伤演化与失效行为研究，揭示高温-高压-应力多场耦合作用下的压砧磨损、裂纹萌生与扩展、脆性断裂等损伤破坏机理，实现压砧承压能力达到并稳定工作于45GPa以上，并实现批量生产。
2.考核指标
(1)技术指标
物理性能：碳化钨晶粒平均粒径≤0.4μm,热导率≥ 85W/(m·K)，热膨胀系数≤4.5x10-6/℃，孔隙度A02B00，非化合碳C00;密度≥14.9g/cm3;压砧顶端精度≤0.5μm，表面粗糙度≤0.02μm;尺寸偏差≤±0.01mm;力学性能：硬度≥1990HV，抗弯强度≥3300MPa，抗压强度≥5300MPa，断裂韧性≥5.3MPa·m1/2;服役性能：在温度1900K下，硬质合金压砧在千吨级大腔体压机上重复循环使用次数≥5次。
(2)产业化指标
在广东省内建成高性能压砧生产线，年产能≥20000件;项目执行期内，新增销售收入≥5000万元。
(3)其它指标
申请发明专利不少于10件。
专题四 前沿技术
方向4.1数据中心智能调度用有源光纤关键技术研究
1.研究内容
围绕全光网络架构光交换机对O波段光纤放大器的需求，研究有源光纤可控掺杂物理机制，开发O波段低损耗宽带增益光纤;研究紧凑型多路光纤放大器新型结构，开发O波段宽带和平坦增益的紧凑型多路光纤放大器;开展放大器在数据中心智能调度过程中的性能验证。
2.考核指标
(1)技术指标
有源光纤：O波段宽带增益光纤增益系数≥0.11dB/m @1320nm，背景损耗≤45dB/km@1550nm，3dB 增益带宽≥45 nm，包层直径125μm±1μm;拉曼光纤背景损耗≤1.45dB/km@1240nm。O波段光纤放大器：拉曼激光器，输出波长1201±2 nm，斜率效率不小于38%;O波段紧凑型多路光纤放大器，其中在信号光输入功率为-1dBm 时，1271 nm增益≥3.5dB、噪声≤8dB，1291nm增益≥5.8dB、噪声≤7dB，1311nm 增益≥7dB、噪声≤6.8dB，1331nm增益≥6.5dB、噪声≤6.6dB。
(2)其它指标
申请发明专利不少于5件。
