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广州市中小企业数字化转型城市试点专项资金中小企业数字化改造项目入库申报的资助标准是中央、省、市三级资金累计按照不超过企业数字化改造项目核定投入的50%给予补助，其中数字化水平等级达到二级的企业累计补助不超过60万元，三级的企业累计补助不超过100万元，四级的企业累计补助不超过150万元。
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为进一步推进南沙半导体及集成电路产业发展，集聚全球创新资源和高端要素，打造规模领先、特色鲜明的产业集群。支持企业流片，对于使用多项目晶圆(MPW)流片进行研发的企业，按模拟类产品当年实际发生费用的80%、数字类产品当年实际发生费用的60%，每年给予每家企业年度总额最高300万元的补贴。对于首次完成全掩膜(Full Mask)工程产品流片的企业，给予流片费用(包括IP授权费、掩膜版费、测试化验费、加工费等)50%的补贴，其中：对工艺制程在45nm以上的(含)，年度补贴总额最高600万元;对工艺制程在45nm以下的，年度补贴总额最高2000万元。
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