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为进一步加快软件和信息技术服务业发展，集聚创新资源，培育软件新生态，打造示范应用，夯实数字经济核心产业基础。支持企业壮大发展。对年度营业收入首次达到1亿元、5亿元、10亿元、20亿元、50亿元以上的信软业企业，分别给予10万元、20万元、50万元、100万元、200万元的奖励(营业收入逐级达到奖励标准的，奖励差额部分)。
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为落实省委省政府“制造业当家，高水平谋划推进现代化产业体系建设”以及市委市政府“坚持产业第一、制造业立市”工作部署，推动南沙区制造业高质量发展。工业投资奖励，对实施固定资产投资500万元以上增资扩产、技术改造项目的企业，按项目固定资产投资额的5%给予奖励，最高5000万元。
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为进一步推进南沙半导体及集成电路产业发展，集聚全球创新资源和高端要素，打造规模领先、特色鲜明的产业集群。支持企业流片，对于使用多项目晶圆(MPW)流片进行研发的企业，按模拟类产品当年实际发生费用的80%、数字类产品当年实际发生费用的60%，每年给予每家企业年度总额最高300万元的补贴。对于首次完成全掩膜(Full Mask)工程产品流片的企业，给予流片费用(包括IP授权费、掩膜版费、测试化验费、加工费等)50%的补贴，其中：对工艺制程在45nm以上的(含)，年度补贴总额最高600万元;对工艺制程在45nm以下的，年度补贴总额最高2000万元。
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